2023年3月14日（火）

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GEAR連携（大分高専）によるオンライン微細加工講習会を実施

担当：GEAR5.0マテリアル呉プラットフォーム

　2023年3月14日(火)に、大分高専田中研究室との連携で、学生交流による微細加工講習会をオンラインで実施し、フォトリソグラフィに必要なフォトマスクを作製致しました。

　具体的な内容は、遠隔でのCADソフトウェアによるマスクパターン設計、遠隔操作可能なマスクレス露光装置（MLA150）を用いたパターン露光で、本校の学生が講師として、大分高専の学生に操作等を教えました。

遠隔でのCAD設計講習の様子

マスクレス露光装置講習の様子

　今後は、GEAR連携による共同研究として、大分高専の光技術と、本校の微細加工技術を融合した「光駆動ナノモータ開発」を推進致します。

　なお本校のマスクレス露光装置は、JST先端研究基盤共用促進事業(代表機関：長岡技術科学大学)の取り組みにより遠隔化されました。

※「GEAR5.0」は、高専機構が取り組む事業で、オール国立高専の資源を駆使した新たな人材育成モデルの構築、連携による効果的な人材育成を推進します。